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產品描述
常州鑫立離子技術有限公司采用獨特的射頻離化技術產生穩定的等離子體云，實現了擺脫熱陰極后穩定工作的方式;可以擺脫熱陰極的壽命短板，可以實現過1000+小時連續穩定工作。利用3層柵網確保離子束方向和離子能量的穩定分布;射頻離子發生器和射頻電子發生器的綜合應用實現了真空系統里高能等離子體云的定向能量傳送。系統可以在多重工作氣體環境下穩定工作。適用于離子束刻蝕、超高精度表面處理、濺射鍍膜、離子注入等多個高科技方向，目前射頻離子源已可以應用于光通信、視覺光學、導航制導等高精密光學領域以及在科研軍工方面進行了廣泛的應用。本產品可完全替代進口設備，填補國內空白打破國外壟斷。
離子束發生系統(射頻離子發生系統)特點：
最大束流：1200mA
離子發射能量：1000eV
無陰極工作模式，減少陰極耗材的成本、避免陰極污染
中和系統(射頻電子發生系統)特點：
中和電子供應能力：>3A
連續工作時間：1000+小時
無陰極工作模式，減少陰極耗材的成本、避免陰極污染
熱輻射溫度(>400mm工作距離)：<70℃
1、安裝要求：
電力：380V±5%， 3相5線 5Kw
1路氧氣、2路氬氣，純度>99.99%
冷卻水：射頻線圈>1L/min，離子源本體>3L/min，水溫<25℃
進出水壓差>0.2~0.4MPa
2、工作參數：
屏極參數：300V~1000V/150~1200mA
加速極參數：100~1000V
中和參數：300~2500mA
射頻功率：1000W+300W
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射頻離子源
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